線性馬達平台LinearMotorActuator    
   

  • 系統精度高,剛性強--能快速的到達定位,並能在低速中平穩的運轉.
  • 整體高度低,元件少,系統安裝及保養容易.
  • 最高速達3m/sec 最高加速度5Gs, 重覆精度0.1μm-5μm(依光學尺而定)
  • 可適用於無塵室環境
  • 提供方便使用之電纜線連接座